載具管理系統CMS（Carrier Management System）
在生產的過程中，載具（Carrier）承載著生產批至各工作站與機台中生產，而載具管理系統則對於這些載具的屬性、狀態與動作加以管理：
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載具屬性管理
載具的保養與清潔管理，載具群組、載具插槽、載具容量、載具壽命、載具使用次數與最大保養次數等屬性的控管。
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載具狀態控管
系統可以設定與轉換載具的狀態，如是否為可用狀態、是否為可保養狀態等。
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載具動作控管
包含裝載／卸載生產批、裝載／卸載子單元（Component）、載具移轉、子單元變更插槽等。
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載具查詢
查詢所有載具的狀態、屬性及歷史紀錄。
